特点

1. 环境控制功能(大气，真空，液体，温控等)

AFM5300E能够实现高真空的测试环境，最大限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。

(专利3857581号、专利3926638号)

? 大气中　? 液体中　? 真空中　? 特殊气氛(流量控制)

? 温度控制 加热?冷却(-120～300℃)　高温(室温～800℃)

? 湿度控制(0～80%)

2. 简便操作(综合型Holder Flange)

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。

3. 卓越的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。

4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。

规格